固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)是人們每時每刻所感知的三種物質狀態(tài),這三種狀態(tài)的物質是由原子和分子構成。通過輸入能量(如熱量),可實現(xiàn)物質從一種狀態(tài)轉化為另一種狀態(tài)。當氣態(tài)物質被進一步加熱到更高的溫度時,或是氣體在受到高能量的照射后,氣體物質就轉化為第四態(tài),即等離子體態(tài)。在這種狀態(tài)下,部分氣體原子已解離成電子和離子,也有一些在吸收能量后變成具有化學活性的亞穩(wěn)態(tài)原子。在這種狀態(tài)中,不但包含有一定能量的中性原子和分子,而且還有相當量的帶電粒子、一定量的帶有化學活性的亞穩(wěn)態(tài)原子和分子。電離出的自由電子總的負電量與正離子總的正電量相等,這種高度電離的、宏觀上呈中性的氣體叫等離子體。
?? 等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài),也叫做物質的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
??等離子清洗機在材料學,光學,電子學,醫(yī)藥學,環(huán)境學、生物學等科研領域得了廣泛的應用,主要用于材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原、去除有機物、鍍膜前處理、器械消毒等。等離子清洗機的清洗特點是容易采用數(shù)控技術,自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層,表面質量得到保證;由于是在真空中進行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。
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